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華夫板是帶有空心梁的平板。由于生產(chǎn)過(guò)程的特殊要求，當(dāng)今的高科技電子車(chē)間（LCD顯示器，芯片，半導(dǎo)體等）對(duì)生產(chǎn)車(chē)間的清潔度有嚴(yán)格的要求。除塵車(chē)間通常采用垂直直流層氣流組織方式。
通常，潔凈度較高的潔凈室在車(chē)間內(nèi)裝有較低的夾層苯甲醚，因此潔凈室中包含顆粒的氣流會(huì)通過(guò)活動(dòng)地板和潔凈室地板進(jìn)入較低的夾層。房間天花板上的過(guò)濾器會(huì)重新過(guò)濾出干凈穩(wěn)定的氣流，從而形成循環(huán)系統(tǒng)。這使得潔凈室的地板必須具有足夠的回風(fēng)孔，以便潔凈室的氣流將通過(guò)該回風(fēng)孔。清潔區(qū)域。此外，它必須具有足夠的強(qiáng)度來(lái)承受加工機(jī)械的重量，并抑制微振動(dòng)影響加工質(zhì)量，因此得出了潔凈室地板的特殊設(shè)計(jì)。目前，高科技工廠的無(wú)塵室樓板統(tǒng)稱為格子梁樓板。
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